EFEM洁净机器人

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TSS-3000 EFEM

EFEM是一个晶圆前端传输设备，是一个与SEMI标准兼容的界面系统，可以手动或者配合MR或OHT的承载水平传输晶圆。该系统提供单线接口供工厂控制，充裕的传输间距与工厂交互和简单的方式供人工服务。占地面积小，采用带外部轴的双臂机械手，通过双轴复合运动实现取放片，极大的提高了传片效率的同时而又降低了产品维护成本。内部全新的气体导流结构，保证内部空间洁净度能够满足ISO Class 1级别，保证晶圆传输过程的洁净度。内部带有多重互锁保护，从软件到硬件，多重保证晶圆传输过程中的安全，人员与设备的安全。

advantages

产品优势

符合SEMI标准
整机参照SEMI进行设计，符合半导体行业标准
自主研发
大气手、aligner、SMIF、buffer等核心部件均自主研发，稳定性高
尺寸多样性
采用行业标准尺寸，内部空间布局合理，结构紧凑性强，可根据用户需求定制
传输效率高
多款大气手、aligner等部件可供选配，可配置外部轴，大气手可实现多种取放功能，传输效率高
标准化程度高
内部零部件高度标准化模块化，互换性高
兼容性强
可根据用户的实际需求进行非标定制

Application areas

产品应用领域

半导体晶圆传输

parameter

产品参数

尺寸

2100*750*2500mm
重量

≤1100kg
洁净等级

class 1
wafer放置位置精度

±0.1mm
wafer放置角度精度

±0.2°
WPH

≥150

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TSS-3000 EFEM

advantages

产品优势

符合SEMI标准

自主研发

尺寸多样性

传输效率高

标准化程度高

兼容性强

Application areas

产品应用领域

半导体晶圆传输

parameter

产品参数

尺寸

重量

洁净等级

wafer放置位置精度

wafer放置角度精度

WPH